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浙江里阳半导体废气治理工程自控系统介绍
2020-03-06 14:45:42


浙江里阳半导体有限公司废气治理工程由“酸洗废气处理系统”“催化燃烧有机废气处理系统”“氨气废气处理系统”“焊接烟气治理系统”“扩散烟气治理系统”“加药系统”六套系统组成n一台台达触摸屏一台PLC控制柜,西门子s7-1200PLC 西门子上位机软件WINCC v7.4组成

一:控制系统组成


二:分系统介绍:

1:酸洗废气处理系统

酸洗废气处理系统由一台45kw风机,一台11kw离心泵,一台7.5kw离心泵,两台0.37kw离心泵组成,大功率风机负责将酸性废气由车间抽出,两台大功率离心泵,负责两座喷淋塔的循环喷淋工艺,两台小功率喷淋泵负责给喷淋塔循环喷淋液加处理废气的药水

系统45kw的风机控制采用西门子G120 45kw变频器实现风机的变频控制,一台大功率离心泵采用星三角降压启动,小功率离心泵采用直接启动方式


系统自动控制要求为,系统自动运行启动,先启动风机,间隔20S之后,启动一号喷淋泵,再间隔20 S之后启动二号喷淋泵,实现系统自动间隔启动,停止先停二号喷淋泵,间隔20S之后,再停一号喷淋泵,最后再停止风机,实现系统的“顺序启动,逆序停止”酸性加药系统根据由PH计测得的PH值控制加药泵实现自动加药控制,使喷淋液的PH值维持在一个范围内,该控制由一台西门子1200PLC 编程实现


酸洗废气处理系统HMI上位机截图

2:催化燃烧有机废气处理系统

催化燃烧有机废气处理系统由一台30kw风机,7.5kw风机,燃烧器,吸附器,过滤器,气动阀门,比例阀 等设备组成

自动控制要求:催化燃烧自动启动;

顺序启动:吸附器I自动开启吸附阀门XF11XF12;同时在5秒内检测阀门开启到位信号;信号到位方可进入下一步;否则报警提示; 吸附阀门开启到位后启动吸附风机;吸附风机按照设定的频率参数运行;

吸附程序:同时吸附器I进入吸附状态,上位机控制界面提示“吸附状态”;同时进入吸附器I吸附计时,界面显示吸附时间;吸附时间到且另一个吸附器脱附完成降温等待程序完成转为脱附状态;

脱附程序:吸附器II自动开启脱附阀门TF21TF22;同理检测阀门到位信号,程序同上;吸附器II脱附阀门开启到位后,延时5秒启动脱附风机,脱附风机按照15HZ初始频率启动 脱附风机启动完成 启动2组加热器加热。当阀门TFF开启后




附器II进入脱附计时状态;吸附器II脱附阀门TF21TF22开启后指示吸附器II进入脱附状态。

加热器控制程序:加热温度热电偶为T7,当T7温度达到加热设定温度1时候(达到设定点检测10秒一直稳定方可作为控制点),首先开启TFF阀门(同理检测开关到位信号),当T7温度达到加热设定温度2时候停止1组加热;当T7温度达到加热设定温度3时候停止2组加热;程序中加热设定温度2和3设定有个回差,当T7温度跌出回差范围外重新启动加热。

催化后温度T10温控:当T10温度达到催化后设定温度1时候,停止2组加热;当T10温度达到催化后设定温度2时候系统开启空气阀门KQF脱附,若T10温度跌回设定温度2回差范围外,关闭KQF。当T10温度达到催化后设定温度3时候系统超温报警,停止脱附,自动进入降温程序;

排气温度T11温控:当T11温度达排气温度设定1时候,开启PFF1个开度;设定5个开度值,根据排气温度T11对应的5个设定值,开启5个开度的PFF阀门开度;一般T11温度正常运行保证150度上下。

脱附温度T6控制:T6和BLF开度做个PID 控制;控制T6温度在95度上下,调节饭BLF开度;正作用。当T6温度达到脱附设定温度时候,停止脱附阀门TFF,,吸附器降温,脱附温度高,报警。当T6跌回至设定值回差,重新开启TFF阀门,进入正常脱附工序;当阀门开度大于0时候,开启补冷风机,此后补冷风机一直运行,直至冷却程序结束关闭。

吸附脱附循环程序:就当吸附时间和脱附时间均达到设定时间且脱附温度已降到安全温度,吸附器I转为脱附状态、吸附器2转为吸附状态;一直循环;

系统记忆程序:当系统停止后,系统记忆吸附状态的吸附器号和脱附状态的吸附器号,且记录当前吸附时间,脱附时间(下次再次自动运行从此点开始;)

系统停止:进入脱附状态吸附器冷却、催化床冷却程序和吸附停止程序。

吸附停止程序:关闭吸附风机,待频率下降至10内,关闭吸附阀门。同时检测阀门关闭到位信号。

吸附器和催化床冷却程序:当进入冷却程序后,加热停止、关闭阀门TFF,同时BLFPFF阀门开启最大值。冷切停止状态指示:吸附器温度T1 T2或者T3 T4均下降至设定的安全温度;催化后温度T10下降至设定的安全温度。然后停止脱附风机和补冷风机;待风机将至0频后关闭吸附器脱附阀门, BLFPFF关闭(0开度)。

脱附完成降温程序:当吸附器脱附计时时间到之后,关闭两组加热,关闭TFF。补冷阀,PFF开到最大,脱附风机以40HZ运行,给吸附器降温,待脱附温度T2或T4降到安全温度,进入脱附等待程序

脱附等待程序:脱附风机以15HZ 低频运行,排放阀,开到50%,补冷阀关闭,补冷风机关闭,空气阀打开,等待另一个吸附器吸附完成,吸附完成两个吸附器进行吸附脱附转换,进入正常吸附脱附程序

上位机界面截图

3:氨气废气处理系统

氨气系统由一台11KW风机,18.5kw离心水泵,PH计,0.37kw离心水泵组成

控制要求:氨气系统自动启动,先启动氨气风机,间隔20S后启动 氨气喷淋泵,实现氨气喷淋工艺,氨气系统停止,先停止氨气喷淋泵,间隔20s后,停止氨气风机 

氨气系统上位机截图

4:焊接烟气治理系统

焊接烟气治理系统由一台3kw风机通过烟囱将废气高空排放

控制要求:焊接烟气系统启动,焊接风机按照上位机设定频率启动,并可随时修改焊接风机频率,系统停止,停止焊接风机,焊接风机可手动控制启停

5:扩散烟气治理系统

焊接烟气治理系统由一台5.5kw风机通过烟囱将废气高空排放

控制要求:扩散烟气系统启动,扩散风机按照上位机设定频率启动,并可随时修改焊接风机频率,系统停止,停止扩散风机,扩散风机可手动控制启停

扩散系统上位机截图

6:加药系统

加药系统主要用于给酸性系统喷淋塔水箱,氨气系统喷淋塔水箱 根据PH值实现自动加药

控制要求:加药系统由3台0.37kw离心泵组成,根据上位机设定PH 值,控制加药泵启动停止,低于设定值,加药泵启动加药,等于或高于设定PH值,停止加药泵,实现自动加药

上位机参数设置界面

上位机报警记录界面

报警记录界面可实时显示报警日期,时间,报警事件等信息,也可查询一段时间内旧的报警信息

上位机温度曲线记录界面

温度曲线界面可实时记录各温度传感器温度值,并生成实时温度曲线

上图所示左上角区域为自动系统启动选择区域,点击白色方块会出现√的形状为自动模式,不选择为手动模式。选择好后点击一键启动系统。系统安装选择的自动系统,顺序启动选择的自动系统 系统进入自动运行状态 如要停机点击一键停机。系统按照顺序依次停机 加药系统手自动选择。加药系统选为自动后,系统将安装设定PH值实现自动加药 所有的引风机频率设定如图所示,手自动模式下均可自由设置频率参数。手动模式下可在截图下半部分,单机启动停止。

触摸屏界面:

主界面

手动操作界面

参数设置界面

报警记录界面